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陕西师范大学学报（自然科学版）
化学与材料科学
微氟循环玻璃蚀刻的工艺研究
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刘存海, 张佳
(陕西科技大学 化学与化工学院， 陕西 西安 710021)
刘存海，男，副教授，主要从事环境科学与水处理工程方面的研究.E-mail:592033418@qq.com.
摘要:
应用正交试验和单因子实验分别确定了微氟循环蚀刻液的配比及微氟循环蚀刻的最佳工艺条件.结果表明，蚀刻的最佳工艺条件为：pH=5.5，温度为48 ℃，时间为2.2 h.并经SEM和IR实验测试，玻璃表面蚀刻均匀，蚀刻深度为5.8 μm，深度均一，表面平整，无侧蚀现象.蚀刻后废液经化学处理可实现循环使用.
关键词：
微量氟化物； 玻璃； 循环蚀刻技术
收稿日期：
2013-06-06
中图分类号：
TQ171.687
文献标识码：
A
文章编号：
1672-4291(2014)01-0062-03
基金项目：
国家自然科学基金资助项目 (51103081).
Doi:
Study on micro fluorine recycling etched glass
LIU Cunhai， ZHANG Jia
(College of Chemistry and Chemical Engineering，Shaanxi University of Science and Technology, Xi′an 710021, Shaanxi, China)
Abstract:
The orthogonal experiment and single factor experiments to determine the ratio and the optimum technological conditions in glass etching were carried out. The following results were obtained under pH=5.5, 48 ℃ and 2.2h.The best performences were achieveed. The data of SEM and IR showed that the surface of the etched glass is uniform with 5.8 μm ecthed depth and without lateral erosion phenomenon.The etching liquid could be recycled after chemical treatment.
KeyWords:
micro fluoride; glass; recycling etching technology

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