高校实验室科学技术
高校实验室科学技术
实验教学与改革
微电子专业生产实习教学模式的探索与实践
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兰馗博,谢生,赵毅强,张宁,秦国轩,程思璐
(天津大学微电子学院/天津市成像与感知微电子技术重点实验室,天津300072)
兰馗博(1989—),男,硕士,工程师,主要从事集成电路工艺制备及芯片的失效分析教学与科研工作。
摘要:
为了适应微电子产业的高速发展,发挥国家示范性微电子学院的辐射作用,对作为实践教学的重要组成部分和重要环节的生产实习进行了教学模式的改革。以校企联合实训基地和微电子工艺实验室为载体,利用虚拟仿真和实际操作相结合的教学手段,构建了由学术演讲、参访学习和实验操作三部分组成的多元化微电子生产实习教学及评价体系,克服了微电子专业特点给生产实习带来的困难,达到了新时期培养微电子卓越人才和新工科建设的要求。
关键词:
实践教学;生产实习;微电子工艺;新工科建设
中图分类号:
基金项目:
教育部2018年产学合作协同育人项目(项目编号:201802088010);2018年天津市自然科学基金项目(项目编号:18JCYBJC15900);天津大学2016年实验室建设与管理改革项目(项目编号:201611)。