自制类金刚石膜制备装置在材料类专业综合实验中的应用-陕西师范大学学报期刊社网站

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自制类金刚石膜制备装置在材料类专业综合实验中的应用

罗清威,邹祥宇，李文虎,张会

（陕西理工大学材料科学与工程学院，陕西汉中723001）

罗清威（1983—），男，博士，讲师，研究方向为材料科学与工程专业的教学与研究工作。

摘要:

综合实验课在大学生专业综合素质教育和知识构建方面发挥着重要作用。采用自制的类金刚石膜制备装置开设了材料类综合实验，让学生对类金刚石薄膜材料的制备过程有一个较全面的了解。通过让学生接触所学专业的科学前沿，进一步培养学生的动手能力、科学素养和创新能力，阐述了该装置的设计思路、操作原理、结构特点、可完成的相关实验和取得的成效。

关键词：

类金刚石膜制备装置；综合实验教学；设计原理

中图分类号：

基金项目：

陕西省教改项目（项目编号：17BY085）；陕西理工大学研究生教改项目（项目编号：SLGYJG1714）。