高校超净实验室环境维护及设备运行管理探讨-陕西师范大学学报期刊社网站

高校实验室科学技术

实验室建设与管理

高校超净实验室环境维护及设备运行管理探讨

李华，周保范，郭党委，李喜玲,席力

（兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室/物理科学与技术学院，甘肃兰州730000）

李华（1976—），女，硕士，工程师，主要从事超净实验室的运行管理，光刻、刻蚀工艺研究。

摘要:

高校超净实验室是进行微纳米器件加工研究的基础条件。制定和实施各项切实有效的规章制度，能够长期有效的保障超净实验室内环境洁净度不发生异常，并保证超净实验室的设备高效运行。结合兰州大学超净实验室管理中制定的制度、规程，对其环境维护及设备运行的管理经验进行了总结介绍，结果表明该制度和规程切实可行并有效地保障了该超净实验室多年的正常高效运行。

关键词：

超净实验室；设备；运行；管理

中图分类号：

基金项目：

兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室开放课题(项目编号:LZUMMM2017011)。